滤光片薄膜

介绍滤光片薄膜的成分,不同滤光片薄膜所用材料不尽相同,所以滤光片薄膜成分也就多种多样,然而分析方法确实千篇一律。

滤光片薄膜材料经过固相-液相-气相-固相或固相-气相-固相转化后在基板上凝固而成,因此不仅微观结构和晶体结构,而且滤光片薄膜成分都会与块状材料不尽相同。

绝大多数金属都是以原子形式蒸发的,但对一些半导体以及半金属,它们多是以2个或2个以上的原子集合体蒸发的。

就Sb(锑)而言,Sb的四个原子都以4个相似的共价键相结合,故Sb膜中主要含有,同时混有少量的和Sb;

As(砷)主要含有和;

Bi(铋)和Te(碲)主要含有和;

C(碳)、Ge(锗)、Se(硒)、Si(硅)等中也都有类似的集合体。化合物的情况更复杂。

对于硫属化合物,蒸发时材料是分解的,例如:。但它们在基板上又重新化合了,因而仍能得到化学计量和化学计量一致的膜层。

CdS(硫化镉)蒸汽分解时,可以得到Cd与S失硫现象比硫化锌严重。

同时,氟化物也引起了不同程度度的失氟,下表1是几种氟化物的失氟情况。

失氟后的膜层吸附潮气的能力的能力提高,这种失氟情况与蒸发源的的情况有密切关系,采用大容量的辐射蒸发源可得到块状化学计量近似一致的膜层。

在蒸发氧化物时,可观察到分解的,即使是也包含着与。失氧最严重的是(氧化钛)、(氧化钽)和(氧化镍)等.(氧化铍)、(氧化钴)几乎接近于块状材料。

溅射也包含着大量的复合原子。离子加速器电压越高,溅射的单原子分子就越少,以溅射Gu原子为例,对多晶铜靶,的加速原子为100eV时,Gu原子的含量约有5%左右,其余都是。对单晶Gu(100)靶,除含有和之外,还有。用和溅射Al,也可观察到和。用溅射,溅射出来的99%是Ca与As的中性分子,其余才是CaAs分子。

滤光片薄膜化学成分的分析主要是借助表面分析技术,所谓表面分析技术,通常是用分子、光子或离子轰击待分析的样品表面,粒子与固体表面相互接触,结果将引起,激发粒子的发射,即二次离子,利用这种激发和放射过程就能鉴定滤光片薄膜表面和滤光片薄膜的化学成分。