一篇文章来解读什么是窄带滤光片(图1)

红外光源是3D视觉体系中工作的“源头”,是完成深度丈量的主要“功臣”之一。3D视觉体系的红外光源主要有红外LED和激光器(主要是VCSEL)。如VCSEL发射的是940nm波长的近红外光,因此在3D摄像头接纳端需要将940nm以外的环境光“剔除”,让接纳端的红外图画传感器只接纳到940nm的近红外光。为到达这一意图,就需要用到窄带滤光片了。
设计一款窄带滤光片需要考虑的参数有中心波长、带宽、峰值透过率、截止范围、截止率、入射角度、波纹目标、前后沿陡度及宽度比。确认这些参数后,则进行光学基片、镀膜材料、镀膜办法的选择。依照结构的不同可将其分为法布里-珀罗型(F-P)滤光片、多腔滤光片和诱增透滤光片。因为由它获得的透过光谱带都比较窄,所以又名窄带干涉滤光片。
窄带滤光片的薄膜一般由低折射率和高折射率的两种膜组成,叠加后层数达几十层,每一层薄膜的参数漂移都或许影响最终功能。并且窄带滤光片透过率对薄膜的损耗非常灵敏,所以制备峰值透过率很高、半带宽又很窄的滤光片非常困难。制备薄膜的办法有很多种,包括化学气相沉积、热氧化法、阳极氧化法、溶胶凝胶法、原子层沉积(ALD)、原子层外延(ALE)、磁控溅射等,而不同办法制备的薄膜功能差异很大。